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真空鍍膜是一種通過物理方法生產薄膜材料的技術。在真空室中，材料的原子從加熱源中分離出來，撞擊在被鍍物體的表面上。真空鍍膜機在正常工作情況下，通電時必須先打開水管，工作中要隨時注意水壓。
真空鍍膜電源在離子轟擊蒸發過程中，要特別注意高壓線接頭，不要觸碰，以防觸電。用電子槍鍍膜時，應在鐘罩外圍放一塊鋁板。觀察窗的玻璃好是鉛玻璃，觀察時應佩戴鉛玻璃眼鏡，防止X射線對人體造成傷害。
在鍍多層介質膜的鍍層室內，應安裝通風除塵裝置，及時清除有害粉塵。易燃、有毒物品應妥善保管，防止火災中毒。酸洗夾具應在通風設備中進行，并應戴上橡膠手套。將零件放入酸洗或堿洗槽時，應輕拿輕放，不得碰撞、濺水。通常酸洗槽應加蓋。
真空鍍膜有蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍三種形式：當濺射鍍膜用高能粒子轟擊固體表面時，可以獲得固體表面的粒子。能量從表面逸出并沉積在基板上；離子鍍蒸發物質的分子通過電子撞擊被電離，并以離子的形式沉積在固體表面。所有三種形式的真空鍍膜技術都需要快速冷卻裝置來輔助真空鍍膜過程。
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