MSD系列小功率直流磁控濺射電源

主要型號：

主要特點：
   A 采用先進的電流型開關電源技術，減小輸出儲能元件，
同時提高了抑制打火及重啟速度，應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
   B 具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式，
更能保證鍍膜工藝的重復性。
  C 具有理想的電壓陡降特性，自動識別偽打火現象，
充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  D 可選擇手動控制/模擬量接口控制，可選配RS485通訊接口。
  E 專門為試驗型真空設備定制，相對生產型設備的直流磁控濺射電源，
為客戶減小電源體積和降低成本
采用先進的PWM脈寬調制技術，使用進口IGBT或MOSFET作為功率開關器件，
體積小、重量輕、功能全、性能穩定可靠，生產工藝嚴格完善。
該系列產品采用先進的DSP控制系統，充分保證鍍膜工藝的重復性，
并且具有抑制靶材弧光放電及抗短路功能，
具有極佳的負載匹配能力，既保證了靶面清洗工藝的穩定性，又提高了靶面清洗速度；
主要參數均可大范圍連續調節；
方便維護，可靠性高；
PLC接口和RS485接口擴展功能，方便實現自動化控制。

主要用途：

直流磁控濺射用于鍍制各種金屬。

真空鍍膜電源的故障現象分析及排除，在實際使用的過程中，真空鍍膜機就出現過不少故障，其中高壓電源部分的故障較多，也比較復雜，下面就幾種典型的故障進行分析。

1、增加電子束流時，高壓沒有指示

真空鍍膜機在正常工作的時候，設備的主開關電路中的開關管處于飽和的導通狀態，當管壓下降保持在100V左右的時候，柵極得到正偏壓50V，高壓指示6kV（或10kV）。從檢測電路上得到的電壓控制信號不足以使穩壓管擊穿導通。在不正常的情況下，增加束流時，由于束斑的位置不在中心，電子束可能會打到坩堝的邊緣，或者束斑的位置在中心，但蒸鍍的材料被打穿等原因，都會出現高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路，造成電子束流大于預定的值，主開關管處于截止狀態，承受全部的高壓，讓高壓無法輸出。由于打火而造成束流過大的時候，在電流檢測電路時取得的過流信號，使得穩壓管被擊穿導通，管壓處于導通狀態，這時高壓就沒有指示了。

2、無束流時，高壓指示不穩定

在正常的情況下，即使有束流高壓指示也應該是穩定的，無束流時高壓指示不穩定，高壓表指針就會來回的擺動，這就是不正常情況。從原理上分析，高壓電源和負載有問題都會出現這種現象。為了便于排查，先將高壓電源和負載分開，如果問題還在，就證明問題不在負載那方面，而是在高壓電源那方面，高壓電源是由高壓部分和自動電源的主開關管進行切斷的。當有束流時，高壓指示頻繁的擺動，就是高壓出現連續性的過流打火，自動復位部分就開始運行，使得高壓電源的主開關管始終處在切斷和導通這兩種狀態，反映在高壓表上的指針就金頻繁的擺動。在實際的修理過程中發現，有時會出現這種故障并不是由于高壓電源內部的原因，而是真空室內有污染，因為設備使用了很多年，鐘罩內壁上聚集了許多蒸鍍的材料。在有束流的情況下，會產生二次、三次電子，從而產生較大的假束流，使得主開關管不停的導通和截止，高壓指示就不穩定了。消除這種故障，可先將電子槍、坩鍋、高壓電極進行徹底地清洗，如味故障還沒有補消除，再將鐘罩內所有的器件和鐘罩內壁進行徹底的清洗，故障就會被消除，高壓指示就不會在頻繁的擺動了。